从集成电路制造中各部门的分工来说,光刻是为工艺集成(process intergration)服务的。
最直接支持工艺集成的是光刻工艺工程师(lithography process engineer),又被称为“layer owner”。一个完整的集成电路制造流程有几十个光刻层,这些光刻层按技术的类似程度分配给光刻工艺工程师,使得他们分别负责一个或者几个光刻层。光刻工艺工程师对所负责的光刻层做工艺参数的设置、优化;对工艺稳定性做日常监测,并及时解决出现的技术问题。
光刻师属于什么专业求高手给解答
从集成电路制造中各部门的分工来说,光刻是为工艺集成(process intergration)服务的。
最直接支持工艺集成的是光刻工艺工程师(lithography process engineer),又被称为“layer owner”。一个完整的集成电路制造流程有几十个光刻层,这些光刻层按技术的类似程度分配给光刻工艺工程师,使得他们分别负责一个或者几个光刻层。光刻工艺工程师对所负责的光刻层做工艺参数的设置、优化;对工艺稳定性做日常监测,并及时解决出现的技术问题。
光学工程、精密仪器、控制理论、机械工程
物理学、微电子、激光